851个零件复刻全球最贵光刻机！ASML推出High NA EUV乐高套装：售价

快科技12月3日新闻，光刻装备制作商ASML克日在其官网留念品商城推出了一款特殊的产物——High NA EUV光刻体系TWINSCAN EXE:5000的乐高模子套装。该模子的订价为227.95美元，约合国民币1653元。这款乐高模子由ASML的员工兼乐高喜好者Rick Lenssen计划，包括851个整机，尺寸为宽352mm、高99mm、深64mm，准确复刻了TWINSCAN EXE:5000的表面。High NA EUV光刻机是寰球首款采取0.55NA数值孔径的光刻机，辨别率到达8nm，成像对照度比之前的NXE系列0.33NA EUV体系超过40%，支撑2nm逻辑节点图案化，单价高达3.5亿欧元。Rick Lenssen此前曾破费2.5年时光（1.5年计划蓝图、1年现实组装）用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区，并推出过多款ASML主题的乐高套装产物。【本文停止】如需转载请务必注明出处：快科技义务编纂：彩色文章内容告发]article_adlist--> 　　申明：新浪网独家稿件，未经受权制止转载。 -->